二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9389533 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一個200毫米、低成本、快速熱處理（RTP）反應堆。該設備專門設計用於先進的半導體器件制造應用，並針對集成電路（IC）生產進行了優化。它具有高度精確的過程控制系統和精確的溫度控制，以確保在所有應用程序中的一致和可重復的處理。該單元具有很高的柔韌性，可用於多種材料，包括矽、的、混合金屬化合物等。AMAT P-5000反應堆由輻射燃氣爐、回火裝置和工藝控制器組成。輻射燃氣爐2用氫氣、氮氣和氙氣組合加熱，使得爐溫在晶圓加工過程中一直保持較高的溫度。回火單元是一個兩級單元，允許溫度控制整個爐的範圍，允許精確的過程控制。過程控制器是一個功能強大的用戶友好界面，它允許用戶對機器進行編程以執行一系列應用程序。此外,APPLIED MATERIALS P 5000還具有內置的數據記錄工具,允許用戶記錄每個過程中收集的數據,從而為過程開發和應用提供支持。APPLIED MATERIALS P-5000提供了一系列的工藝能力，包括氧化、氮化、合金化、摻雜和擴散工藝。這些工藝可應用於器件制造，包括制造晶體管源、大厚度配件、測試結構等。此外,內置的流程控制資產允許改進流程可重復性,因為用戶可以監視和修改環境變量,以確保每個步驟的質量一致。P5000 RTP反應堆具有很高的靈活性,允許制造多種材料,包括但不限於矽、和和和和金屬混合化合物。通過將這種靈活性與堅固的工藝控制模型相結合，UHP級材料可以得到準確處理，從而提高產量和性能。此外，爐可以批量運行或連續運行模式，允許用戶根據自己的需要量身定制工藝。最後，AMAT/APPLICED MATERIALS P-5000的設計具有環境友好的特點，允許用戶以最小的環境影響執行流程。