二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9396223 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Reactor是一種最先進的反應堆,專為半導體制造領域的廣泛應用而設計。它是一種水平熱處理反應器，可用於大規模擴散摻雜、氧化和退火過程。反應堆擁有40x40x60工藝區，具有全方位的氣體處理能力。該反應堆經過設計，可提供低溫、高均勻性和低氣體消耗。反應堆吞吐量全面，非常適合批量生產應用。它具有廣泛的加工參數，工藝溫度範圍為100至1100攝氏度。這確保了它能夠處理各種復雜的半導體材料。反應堆的自適應動態過程控制（ADPC）系統促進了自我優化操作模式，能夠在廣泛的配方和工藝條件下提供統一和一致的質量。反應堆的燃燒室被設計為高效，需要最低限度的氣體使用，同時提供低汙染水平。這是通過將「箱式」反應堆幾何形狀與整個加工體積中的連續氣流相結合而實現的。該腔室還采用了一種專利的反向清洗設計，專門用於最大限度地減少排氣。AMAT P-5000還具有高度的構建靈活性,可用於單室和多室配置。這要歸功於模塊化設計的靈活性和易於互換的組件。此外,APPLIED MATERIALS P 5000還具有可定制的燃氣箱門設計,使其能夠適應現有的各種安裝。最後，APPLIED MATERIALS P5000反應堆采用行業標準監控系統設計，允許操作員監控和調整工藝參數，以保持最佳性能。反應堆的內置控制系統可以方便地自動調整工藝條件以提高產量。因此，P-5000反應堆是各種半導體制造工藝的理想選擇。