二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9396227 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一種以半導體為中心的PVD（物理氣相沈積）反應器。它是為包括濺射和源沈積在內的半導體加工而設計的。這類反應器是一種真空室，用來將材料的薄膜沈積在基板上。該系統由工藝室、高真空泵、加熱元件和控制計算機組成。AMAT P-5000的工藝室是塗覆絕緣材料的圓柱形金屬結構。它的內徑為250毫米，並配有一個工藝線圈磁鐵，用來使濺射材料電離，提高沈積膜的附著力。加工室使用陶瓷加熱元件加熱，可達到高達1000 °C的溫度。高真空泵允許腔室排空到0.1 torr或更小的壓力。一旦腔室被排空，就會使用惰性氣體，例如氙氣，在腔室內創造一個幹凈穩定的環境，以確保薄膜以均勻的方式沈積在基板上。該工藝氣體，通常是氧氣，也被引入腔室，以幫助消除碳汙染並提高薄膜的均勻性。控制計算機負責控制過程參數和監控整個系統。它允許對工藝功率、腔室壓力、溫度和氣體流量等參數進行精確控制。這允許用戶實現對所需影片的精確控制，包括針對非常具體的規格的影片。APPLIED MATERIALS P 5000是一種高效、高性能的反應堆。具有較高的沈積率和良好的階躍覆蓋率和均勻性。它具有精確的工藝控制和清潔的操作環境，是各種濺射和源沈積應用的理想選擇。