二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9399067 待售
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AMAT/APPLICED MATERIALS P5000是一種設計用於半導體加工的多室、小容量生產反應堆。它能夠將材料層沈積、蝕刻和清洗到半導體晶片上,精度和精確度極高。AMAT P-5000由多個不同的小組組成,所有小組共同努力,以取得預期的成果。應用材料P 5000由等離子體增強化學氣相沈積(PECVD)室、快速熱處理(RTP)室和蝕刻室組成。每個會議廳都有必要的工具和組成部分,以實現各自的進程。PECVD腔室使用等離子體氣體創建材料層,等離子體氣體是含有許多帶電粒子和離子的氣體。這種氣體被高頻電場激發,以便加熱並分解成蒸氣。然後將這種蒸氣在真空中送入反應堆室,用於將材料沈積到基板上。RTP室用於快速熱退火,或加熱和冷卻底物以引發反應。在該腔室中,基板被加熱後立即冷卻,以改善PECVD腔室沈積的薄膜。然後使用蝕刻室從基板上蝕刻或去除不需要的材料。蝕刻機利用各種氣體,包括氟化全氟碳化物(FPC)和產生等離子體的氣體,來去除多層有害物質。除會議廳外,反洗錢行動P5000還擁有先進的控制系統,使用戶能夠監測和調整會議廳內發生的進程。這包括調整溫度、壓力和氣體流量等參數以達到最佳結果的能力。總體而言,P 5000是一種高度先進和精確的反應堆,能夠在基板上創建和蝕刻材料層時達到精細的精度水平。它的許多可調控件和腔室結合起來,為用戶提供了沈積、蝕刻和清洗半導體晶片的終極工具。
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