二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9400331 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000反應器是一種離子植入設備，設計用於將摻雜離子植入底物或其他材料中。此過程用於修改半導體材料（主要是矽）的電氣行為。AMAT P-5000是一個分裂型反應器，有一個封裝的離子源和加速設備位於一個單獨的外殼。這種配置允許植入室，其中包含基板，安裝和操作在惰性氣體環境。APPLIED MATERIALS P 5000反應器有多個來源，允許它將不同的離子牽連到底物中。在典型的構型中，使用軸向真空離子槍將硼、砷或磷離子植入基質中，並使用端置平面離子槍植入氙離子。裝置的最大植入能量為1000keV，光束電流為200μA。此外，P 5000的劑量精度約為1%，調整範圍很廣。APPLICED MATERIALS P5000配有自動調節高度的基板階段，允許基板在植入前升高或降低。此外，基板級的高度和傾斜度可以精確控制，該裝置包括先進的光束加熱系統，以減少植入不穩定的風險。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000包括一些安全功能,以確保設備安全可靠地運行。其中包括在植入室壓力超過一定極限時關閉的失效安全快門單元，以及壓力和溫度報警器。再者，所有植入參數都在植入過程中被自動監控和記錄，使反應堆得以遠程操作。總體而言，AMAT P 5000是一種功能強大、用途廣泛、安全的離子註入反應器，可用於修改半導體材料的電性能。其各種安全特性，如故障安全快門機和自動監控，確保其操作安全可靠。此外，其可調基板級和光束加熱工具進一步提高了其功能和性能。