二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9400991 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是專門設計用於半導體工業的不連續運行的批式反應堆。它具有一個鈦包層的腔室，允許極端溫度、真空和壓力用於超低缺陷的應用，如真空沈積、蝕刻和化學氣相沈積（CVD）。AMAT P-5000的工作體積高達500升，最低腔室溫度為-100 °C，最高腔室溫度為6100 °C，最大工作壓力為7.5大氣壓。它還有一個帶手動閉合機構的氣密蓋和一個O形圈密封，最大限度地控制室內環境。除了它的反作用室，APPLIED MATERIALS P 5000還具有等離子體發生器和眾多的進氣口，用於控制泵入腔室的氣體的壓力、溫度和流量。等離子體發生器的功率範圍從100瓦到1000瓦，可以在高達60MHz的頻率下工作，從而在操縱內部的材料時具有很高的精度和精確度。該系統實現了符合人體工程學的高效運行。在反應堆的硬件中實施了集成的安全功能，以實現快速啟動和受保護的關閉。交互式觸摸屏用戶界面提供了一整套可用於質量控制的數據采集、分析和報告工具。總體而言，AMAT P 5000是一個可靠和先進的反應堆系統，它通過精確的溫度、壓力和等離子體調制提供精湛的過程控制。開箱即用，即可滿足高端要求。AMAT P5000具有簡單的功能和強大的構建能力,是半導體行業先進應用的絕佳選擇。
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