二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9402081 待售
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ID: 9402081
晶圓大小: 6"
CVD System, 6"
Robots: Phase-III
Standard O-Rings
8-Slots elevator
(2) CRT Monitors
AC Rack: 1 Shrink
Heat exchanger
PROTEUS Water flow sensor
Flexible water hose
Status light tower (Color / Position): Red, yellow, green, blue
Signal cable: 25"
Hard Disk Drive (HDD)
Floppy Disk Drive (FDD), 3.5"
Mini-controller
RF Generator:
(2) ENI OEM12B-02
ENI OEM12B-07
Chamber:
Chamber position: A, B, C, D
Chamber type: DLH 1-Hole
Process: SiH4 Oxide
Heater type: Lamp
Susceptor type: AL, 6"
(4) Matchers
Delta nitride dual spring throttle valve
Delta nitride isolation valve
Gas panel: 20 Standard channels
Gas supply: Top down
MFC: SEC 4400MC
Manual valve: FUJIKIN
Pneumatic 2-Way valve: FUJIKIN
MKS 122B Baratron gauge, 10 Torr
Gases:
Gas / Range
N2 / 3 SLM
SiH4 / 100 SCCM
CF4 / 2 SLM
N2O / 2 SLM.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000反應器是一種用於制造微電子器件的沈積室。它是一種高真空室，用於將各種材料的薄膜沈積在基板上。該反應器能夠沈積單層和多層薄膜，並能精確控制其物理和化學性質。該反應堆的腔室為圓柱形，基部呈圓錐形。由不銹鋼、鈦、復合材料制成。腔室采用渦輪分子真空泵排空，提供適合薄膜沈積的低壓環境。腔室內裝有一個鋰矽（Si）crucible，由電子束加熱。電子束對室內溫度進行精確控制，從而可以精確控制沈積參數。該反應堆還配備了工藝質量流控制器，對進入腔室的物質流量進行精確控制。這樣可以沈積不同厚度的不同層。此外，反應堆還配備了超高純度氣體分配系統，用於為沈積過程提供適當的反應性氣體。反應堆裝有負載鎖，這是一種使樣品能夠根據需要裝卸的機制。這樣就可以在受控環境中安裝和移動樣品，從而減少汙染。AMAT P-5000反應器效率高，為薄膜沈積提供了高質量的環境。它對工藝參數的精確控制和高效的裝卸能力使其成為最受歡迎的沈積室之一。適用於微電子制造的廣泛應用，可輕松融入現有生產線。
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