二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9402168 待售

ID: 9402168
CVD System Missing parts: OEM 12B Robot Arm.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Reactor是為半導體器件制造而設計的一種先進的高通量生產工具。它為制造矽基和其他半導體器件提供了一個低成本的平臺。AMAT P-5000是一種單晶片熱設備,它利用許多新的新技術來提供卓越的一致性、吞吐量和可靠性。應用材料P 5000主要用於以光刻「掩模」的形式在晶片上沈積和制版薄膜。此掩碼通常包含特征形狀、電路線等功能,以及接觸墊、通孔、互連等其他功能。創建此掩碼是為了在晶片上產生特征,然後可用於創建或加強電氣連接或形成所需的陣列。P5000Reactor的設計包括一個自動化的氮氣清除能力、智能控制系統和一流的工藝配方開發軟件。所有這些功能都旨在為AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000提供卓越的一致性、吞吐量和可靠性。這種自動的氮氣清除能力減少了顆粒汙染,對薄膜化學計量和薄膜均勻性提供了極好的控制。智能控制單元優化了每個可用工藝配方的工藝條件。集成配方開發軟件為快速設置新任務提供了行之有效的優化配方,使客戶能夠最大限度地提高工廠產量。應用材料P-5000還提供了前所未有的溫度均勻性在沈積室.三區溫控機允許晶圓上的溫度分布均勻,允許改進過程控制和晶圓質量。此外,AMAT P 5000具有出色的吞吐量,每小時最多可處理80個晶圓。總體而言,AMAT P5000是專門為半導體器件制造而設計的先進反應堆。它配備了一系列特性,能夠實現卓越的均勻性、吞吐量和可靠性,進一步推動了半導體器件制造過程中效率和生產率提高的趨勢。
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