二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9408602 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是為先進半導體器件制造而設計的高端PECVD反應器。該設備采用高度可靠、緊湊和模塊化的體系結構來提供最佳的系統性能。AMAT P-5000具有一個SiH2Cl2的大氣壓CVD工藝室和一個擴展的淋浴頭,以確保整個晶片表面的均勻性,並驅動更高的精度、可重復性和吞吐量。集成到工藝室中的雙脈沖等離子體源提供快速晶片表面激活,並具有模塊化體系結構和堅固的硬件組件,確保了長期的兼容性和可靠性。APPLICED MATERIALS P 5000的自動晶片加載、處理和機械臂單元提供了極低的循環時間,同時保持了最高的精度和可重復性。它具有處理矽、氮化物和鋁等所有類型的基板的能力,允許應用靈活性和適應各種工藝挑戰。該機集成了DVD和SEM分析等先進的分析工具,以及配方自動化和仿真技術來推動過程的改進。P 5000還支持與現有制造環境的完全集成,以實現高效的控制和數據傳輸。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000的設計是為了在半導體加工中提供卓越的性能和產量。它具有很高的可靠性、均勻性和精確度,並具有卓越的吞吐量和可控性,是先進半導體器件制造的首選。
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