二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9409079 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一種用於在半導體基板上生長薄膜的高性能工具。它是一個短弧等離子體、低壓反應器，能夠輸送高純度沈積。AMAT P-5000是一個兩級系統，由等離子體源和超高真空波紋管室組成。沈積實驗開始時，將玻璃樣品放置在腔內，然後將其密封並排空至1 x 10-6 mBar或更低的壓力。然後該源被激活，在源容器中的兩個電極之間形成等離子體。一股選定的沈積前體隨後被引入等離子體，等離子體釋放出來的高能物質分子碎片轟擊底物和樣品表面。在Applied Material APPLIED MATERIALS P 5000中使用的等離子體是氙/氫混合物，底物溫度可低至200 °C至高至800 °C。腔室設計便於整個樣品均勻沈積。膜沈積完成後，腔室通風，取出樣品。應用材料P-5000是先進介電材料沈積的理想選擇，適用於半導體集成電路工業中的元件制造。可以改變幾個參數來優化沈積剖面，如溫度和氣體混合物，以及沈積速率和薄膜厚度。該儀器準確、可重復，能夠在幾次沈積運行中獲得可重復的結果。總體而言，AMAT P5000低壓反應器是一種可靠靈活的裝置，在半導體基板上提供高質量的薄膜沈積，具有出色的溫度控制。其高的均勻性和精確的沈積剖面提供了可靠和一致的結果。該設備非常適合研究應用以及廣泛的制造要求。