二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9411333 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一種強大的蝕刻沈積反應堆設備。這種多模塊、生產規模的蝕刻沈積系統結合了一系列蝕刻和沈積模塊，使半導體基板能夠進行高質量的蝕刻和沈積。AMAT P-5000的綜合能力為最具挑戰性的工藝要求提供了先進的掩蔽、蝕刻和沈積解決方案。APPLIED MATERIALS P 5000配備了多種蝕刻沈積工具和均勻系統。Autodep系列具有一組四個Autodep VEP蝕刻模塊,可提供與其他系統相當的更高的蝕刻吞吐量和可重復屬性一致性。Autodep VEP系列能夠蝕刻200 mm大小的晶片。AMAT P5000還具有兩個Matchline II沈積系統,可實現高達1000 mm ²/min的一致吞吐量。自動化的負載/卸載功能和板載安全功能可實現高質量、高吞吐量的性能。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000還配備了一系列光學、濕法和等離子體蝕刻模塊,所有這些模塊都經過優化,可提供一致的蝕刻均勻性、更高的產量和更好的工藝周轉時間。這些模塊具有一系列的工藝室和均勻分析儀，能夠在蝕刻、沈積和掩蔽過程中快速優化晶片。這些模塊還附帶了先進的工藝程序，實現了高效和可重復的半導體器件處理。除了蝕刻和沈積模塊外，P-5000還包括一些面向生產的組件和工具。這包括一個高通量晶圓排序單元，集成晶圓跟蹤機和集成晶圓檢測工具。所有組件均設計為易於集成和設置,允許更高的遷移以實現最高性能。APPLIED MATERIALS P-5000還具有自動化的現場過程控制解決方案。該集成過程控制套件結合了機器學習和實時過程監控，以優化產量和性能。總而言之,AMAT P 5000是一種生產規模的多模塊蝕刻和沈積資產,設計具有滿足最具挑戰性的半導體器件處理要求的特性和功能。其全面的能力,加上集成的面向生產的組件,可實現更高的可重復性和效率,滿足各種工藝要求。