二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000E Chamber frame #293662777 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000E反應堆是一種最先進的薄膜沈積工具，可用於蝕刻、等離子體、沈積和微機電系統等一系列應用。AMAT P5000E反應堆采用雙端配置，完全自動化。此設計提供了靈活性,使其能夠通過多個流程選項執行各種流程。反應堆的主要部件是電源、電源控制、真空設備、氣體輸送系統、基板加熱、濺射目標。電源能夠提供交流或直流電源,並提供有效範圍的0-1999V偏置電源。它還有一個自動溫度控制裝置，用於基板支架。此外，它還包括一個可調氣體壓力調節裝置。應用材料P5000 E的真空機由一個渦輪分子泵組件和一個冷凍泵組成，用於維持加工所需的低真空。氣體輸送工具包括質量流控制器，這些控制器經過調整以設定供應氣體的流量，並且能夠輸送多達15個單獨的氣流。此外，它還有一個光學發射器，旨在確保最大的光學效率和薄膜均勻性。AMAT P5000 E反應堆提供了一系列的基板加熱能力，包括電阻、高頻和熱蒸發，使其適合一系列的薄膜沈積程序。濺射目標是可調的，允許沈積層的厚度變化。總體而言，AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 E反應器是一種具有多種特點的先進工具，適用於各種薄膜沈積工藝。其高效率和靈活性以及自動化的流程選項使其成為各種應用程序的理想工具。
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