二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000E #9093627 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS P5000E
ID: 9093627
晶圓大小: 8"
Poly etcher, 8".
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000E是一種高性能PVD(物理氣相沈積)反應器。它非常適合半導體工業使用,因為它是用來處理更高功率、溫度和壓力水平的。這使得它能夠更有效地生產薄膜、表面和材料。AMAT P5000E具有可擴展的模塊化設計,易於安裝和靈活性。它是高級封裝、高導熱率、屏障層、互連和其他蝕刻應用的理想選擇。應用材料P5000 E有一個環境系統,可以優化底物溫度以實現整個腔室的均勻性。它設計有兩個匹配的石英天花板和四個電極,以幫助保持均勻的溫度和最佳的等離子體分布。它還具有一個石英鐘形罐,用於更高效的氣體流動和更安全的操作,以及一個可變的旋轉速率,以確保薄膜沈積均勻在晶圓的各個部分。此外,APPLICED MATERIALS P5000E的石英鐘瓶是可更換的,增加了壽命,降低了維護成本。AMAT P5000 E還配備了射頻發生器,允許對過程進行更大的控制,以確保一致性和可重復性。它的功率可針對不同的工藝進行調節,同時提供了Galvanic和DC供電的熱電偶技術,以提高精度和可靠性。P5000E具有一個內置的隨機存取存儲器(RAM),用於存儲過程信息和召回,以便於快速診斷設備的狀況和參數。為了加強安全,P5000 E還配備了緊急門釋放裝置,在發生緊急情況時可以解鎖門並釋放容器壓力。AMAT/APPLICED MATERIALS P5000 E還有多個沖洗和排氣端口,其耐腐蝕材料和耐用結構使其耐磨損。簡而言之,AMAT/APPLIED MATERIALS P5000E是一種用途廣泛、耐用的PVD反應器,非常適合半導體工業中各種蝕刻和封裝應用。它采用石英鐘形罐、射頻發生器和熱電偶技術等先進部件,設計用於高效、安全的操作。其電源可調設置使其適合一系列流程,內置的RAM允許快速診斷和輕松的流程召回。AMAT P5000E具有耐腐蝕的結構和可調節的旋轉速率,可確保良好的薄膜、表面和材料沈積。
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