二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000W #9132649 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000W是一種等離子體蝕刻反應器。它具有在各種工藝材料中蝕刻先進設備特性的能力。AMAT P5000W是一種通用工具,具有惰性裝載機/卸載機,可提供廣泛的流程靈活性。APPLIED MATERIALS P5000W的設計是為了滿足最苛刻的工藝需求而具有成本效益但又持久的工具。它配備了高歐姆、低面積偏置配置，允許精確控制和可重復的工藝性能。加工室有一個可調的平臺，可以容納長度和寬度都達到8英寸的基板。它也有兩個包含四個射頻、三個微波和二十個網狀可用氣體的氣箱。P5000W支持多達四個獨立的蝕刻加工工具,包括單晶片和雙晶片應用程序,以及三個源法拉第籠子,用於增強過程控制和熱保護。AMAT/APPLIED MATERIALS P5000W反應堆上的工藝室還配備了若幹環境和安全特性，以確保質量性能。其中包括一對波紋管密封、壓力指示的護環和淋浴墻。它有一個完整的溫度控制系統，具有比例-積分-導數（PID）控制環路和用於射頻盒和基晶圓的基本安全聯鎖。它還具有一個用戶可設定值的自我測試、自我診斷互鎖系統，用於監視壓力、溫度和等離子體消耗。AMAT P5000W有一個中頻電源，可讓反應性離子以高精度和可靠性提供。該電源可提供高達25MHz的微波頻率和高達2000W的射頻功率,並具有可調節的設置,可用於快速蝕刻過程。它還配備了一系列傳感器，監測壓力、溫度和等離子體消耗，以獲得最佳性能。應用材料P5000W具有較高的可靠性和性能，是各種蝕刻和沈積工藝的理想選擇。此工具旨在滿足小型和大型生產運行的要求,最多可運行8個晶圓工藝。它易於維護，為所有類型的蝕刻和沈積過程提供了高效的重復性和準確性。