二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5200 #9231616 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5200是一種用於加工先進材料基板的平行板等離子體反應器。該設備是為在緊密集成的環境中進行高通量操作而設計的，允許以多種配置沈積薄膜。AMAT P5200具有一個工藝室,每個等離子體批次最多可容納10個底物,允許沈積均勻的薄膜,無論其應用或底物拓撲如何。該室由兩塊平坦的平行鍍金不銹鋼板組成，具有低阻力型材和排氣口，用於排出任何產生的蒸氣。前板由溫度控制，具有可密封的開口，用於註入工藝和加工副產物氣體。APPLICED MATERIALS P5200具有強大的基板-BIAS-Unit （SBU）,用於在平行板之間創建等離子體護套,該護套使用的是充氣和臭氧層氣體的混合物。SBU可以生成平面或場均勻等離子體,具體取決於加工需求和要求。即使使用復雜的3 D拓撲,此偏置電壓也能在基板表面實現更高的沈積速率和更大的均勻性。P5200配置有一個大面積過程監測系統（PMS）,可實時監測過程參數,包括偏壓、基板溫度、顆粒密度等。PMS還有助於進行閉環反饋和過程的調整,並且可以為過程優化提供有價值的數據。該單元還配備了業界領先的EOS-Analysis軟件，能夠對沈積過程進行嚴格的模擬，以確定實現預期結果的最佳條件。此軟件包包括分別針對各種深度、覆蓋範圍、厚度和其他關鍵參數進行建模和調整的功能。AMAT/APPLIED MATERIALS P5200提供了一個高度可靠和可重復的過程,確保了一致的結果並提高了生產效率。該機用戶友好，允許快速啟動，並隨著進一步升級而不斷改進。