二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Preclean chambers for Endura CL #293633114 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL Preclean chamber is a reactor designed for used in CVD （Chemical Vapor Deposition） processions.該腔室用於半導體生產，以提供一個高質量的清潔區域，在該區域可以進行薄膜塗層在局部區域的沈積。預清潔室利用等離子體增強的清潔技術來實現超清潔的基板表面，然後就可以接收到精致的保護性塗層。這種反應器模型具有水平單片裝載室，由不銹鋼腔體和可移動的不銹鋼蓋構成，並帶有氣鎖密封和後排通風口。其內部容量可達100升，工作溫度範圍為0至150 °C。該腔室還有一個集成的圓柱形過程控制模塊（PCM）,該模塊連接到腔室頂部的控制面板,以便於訪問數字輸入和輸出以及模擬控制。腔室的PCM裝有幾個設計成實現高產預處理的組件。它有一個光發射監測器、一個過程控制器、一個過程氣體模塊和一個真空系統。所有這些組件都設計成協同工作，在腔室中創造出有利於預處理的受控氣氛。預壓密室的設計考慮到了安全性。它配備了幾個安全功能，如壓力傳感器、緊急關閉開關和報警系統。此外，它還被設計為易於維護和升級。它具有堅固耐用的設計，耐苛刻的化學物質，易於清洗和維修。最後，AMAT EnduraCL的PrecleanChamber是一種用於CVD工藝的可靠、堅固的反應器。它旨在提供一個可應用薄膜塗層的高質量清潔區域。該腔室配有幾個設計成實現高產預處理的部件，以及幾個確保反應堆安全運行的安全特性。該室的設計易於維護和升級，對苛刻的化學品具有抵抗力，可長期可靠使用。