二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Process kit for Endura 5500 #293656254 待售
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ID: 293656254
Part number / Description
0020-26312 / Shield upper, 8” Durasource TTN SST
0020-26288 / Shield lower 101, 8” Durasource TTN SST
0020-24914 / Cover ring SST, 8", 101 Coverage
0020-28937 / Cover, 8" Pedestal advanced 101
0020-27455 / Disk, 8", Advanced 101 Shutter
0020-08674 / Shield lower, ARC Spray SST SIP
0020-08673 / Shield inner, Al ARC Spray SST SIP
0020-08677 / Shield upper, Ground Al ARC Spray SST SIP
0020-08675 / Cover ring, 8", Al ARC Spray SST SIP
0040-01549 / Cover, 8", Pedestal B101 HTR S-IMP
0200-00998 / Pedestal ring 8", B101 AI ARC Spray ceramic
0240-26518 / Rest buttons ceramic B101
0021-22586 / Shutter disk, 8", B101
0020-23041 / Clamp, Shield, 8” Wafer
0020-21665 / Shield low, Knee AL/TI Process SST, 8” Wafer, 46" TRGT
0020-27702 / Clamp ring, 8”, SNNF, TI, 3.404 MM, 6 Pads, 10465A
0200-00221 / Insulator pinless, 8" SNNE, Preclean I
0020-27123 / Pedestal, PC II 8", SNNF
0020-26588 / Shield 8" PC II at C and D
0020-26967 / PC II Gas trench cover
0040-21178 / Preclean II.
Endura 5500反應堆的AMAT工藝套件是Endura 5500設備的基本附件。它包括在光刻或蝕刻過程中執行各種步驟的必要工具和組件，如剝離、清潔、沈積和計量。該工藝套件包括諸如搬運機器人、疏散模塊、氣體輸送系統、若幹電容器和現場計量裝置等物品。操控機器人可以定位在恩杜拉5500反應堆附近，用於將晶圓和盒式磁帶移入和移出反應堆腔室。疏散模塊配備了一個用於樣品疏散和其他操作的疏散室，以及一個大型渦輪分子轉子，以實現快速清除速度。氣體輸送機結合了多個精確的控制器和閥門，為反應堆室提供正確的氣體壓力。電容器便於與Endura 5500反應堆直接電連接，計量工具可在生產過程中自動測量薄膜厚度。所包含的組件旨在允許用戶實現多個薄膜堆棧,從而縮短了開發Endura 5500工藝所需的工程時間。該流程工具包允許用戶快速優化其配方和目標周期,以及對每個配方執行數據記錄和評估。該工藝套件還包括一個潔凈室,可安裝Endura 5500組件而不受任何汙染。潔凈室包括配有熱、電、氣線的車站網格，以及兩個裝有專用過濾器和鼓風機的氣閘。資產還包括接地模型和離子中和設備，從而最大限度地減少加工晶圓的充電。此流程套件是Endura 5500系統的關鍵組件,因為它可確保流程可重復且可靠。它旨在提供一個安全高效的工作環境，可以處理各種復雜的過程。
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