二手 AMAT / APPLIED MATERIALS PRODUCER EXT #9219513 待售
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ID: 9219513
晶圓大小: 12"
Etcher, 12"
Chamber model: Producer
Bias gen: AE APEX 5513, 13.56 MHz, max 5000W
Bias match: AE
Source gen: AE OVATION 2760, 60MHz, max 2700W
Source match: AE
GDP Size: Y2O3, 14"
Turbo pump: EDWARDS STP-F2203C
Throttle valve: VAT pendulum valve DN-250
FRC: MKS FRCA-26349, 1000 / 1000 1/4 VCR
ESC: Dual zone ceramic ESC
Cathode chillers:
ChA: SMC INR-496-003D
ChB: SMC INR-496-003D
ChC: SMC INR-496-003D
Wall Chillers:
ChA: SMC INR-496-003D
ChB: SMC INR-496-003D
ChC: SMC INR-496-003D
Process kit coating: Y203
Cooling: HT 110 / 135 / FC 3283
Mainframe configuration:
IPUP Type: TOYOTAl 100L
Gas panel type: Next gen
VHP Robot: Dual blade
MF PC Type: CPCI
Factory interface configuration:
Frontend PC type: 306M Server
FIC PC Type: 306M Server
(3) Load ports
Atmospheric robot: YASKAWA Track robot
Side Storage: Left
Dry pumps & Scrubbers:
ChA: EDWARDS iH
ChB: EDWARDS iH
Chc: EDWARDS iH
MFC Configuration: UNIT PTI-125
MFC Configuration: UNIT PTI-125
EC2-61A / Gas name / Max flow / MFC Type
Gas 1 / C4F6 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 2 / CHF3 / 400 / UNIT PTI-125
Gas 3 / CH2F2 / 100 / UNIT PTI-125
Gas 4 / CH2F2 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 5 / C4F8 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 6 / N2 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 7 / O2 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 8 / O2 / 2000 / UNIT PTI-125
Gas 9 / SF6 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 10 / CF4 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 11 / CF4 / 500 / UNIT PTI-125
Gas 12 / AR / 2000 / UNIT PTI-125
EC2-61B / Gas name / Max flow / MFC Type
Gas 1 / C4F6 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 2 / CHF3 / 400 / UNIT PTI-125
Gas 3 / CH2F2 / 100 / UNIT PTI-125
Gas 4 / CH2F2 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 5 / C4F8 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 6 / N2 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 7 / O2 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 8 / O2 / 2000 / UNIT PTI-125
Gas 9 / SF6 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 10 / CF4 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 11 / CF4 / 500 / UNIT PTI-125
Gas 12 / AR / 2000 / UNIT PTI-125
EC2-061C / Gas name / Max flow / MFC Type
Gas 1 / C4F6 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 2 / CHF3 / 400 / UNIT PTI-125
Gas 3 / CH2F2 / 100 / UNIT PTI-125
Gas 4 / CH2F2 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 5 / C4F8 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 6 / N2 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 7 / O2 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 8 / O2 / 2000 / UNIT PTI-125
Gas 9 / SF6 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 10 / CF4 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 11 / CF4 / 500 / UNIT PTI-125
Gas 12 / AR / 2000 / UNIT PTI-125.
AMAT/APPLIED MATERIALS PRODUCER EXT是一種為半導體製造過程而設計的反應器，專門用硼氣摻雜矽晶片。該反應堆設計為為制造CMOS（CMOS）芯片提供完整的硼植入物溶液。AMAT PRODUCER EXT是PRODUCER系列的最新版本，開發目的是為單晶圓反應堆系統提供成本較低的替代品。應用材料生產商EXT反應器是一種單晶圓垂直擴散裝置，經過優化，用於生產硼摻雜劑型材。它被設計用來產生比以前的單晶片系統高10倍的摻雜劑濃度，並允許不同的植入物角度來創建超細線特征。該反應堆還被設計為高度可靠和節能。PRODUCER EXT利用先進的等離子體源產生了硼摻雜氣體。這個等離子體利用電容耦合的射頻能量產生硼氣體，然後在束線爐中輸送到晶圓。這樣就可以在晶圓上的所需深度精確施用硼，減少浪費，提高生產率。AMAT/APPLIED MATERIALS PRODUCER EXT包括一個高分辨率的基板查看器，允許用戶監視植入點輪廓並驗證放置精度。用戶可以使用板載過程控制軟件來控制植入物的深度。這樣可以確保在每個晶片上達到所需的摻雜物濃度曲線。AMAT PRODUCER EXT設計了易於安裝和維護的模塊化組件。這使得擴大生產和重新配置不同植入物輪廓的系統變得容易。此外,APPLIED MATERIALS PRODUCER EXT的小尺寸允許將其安裝在從實驗室到批量生產工廠的各種設施中。PRODUCER EXT反應器是半導體制造工藝的理想解決方案，為產生硼植入物型材提供了可靠、經濟高效的解決方案。它旨在提供高度精確的給藥能力和高產率,並實現最小的浪費和卓越的電源效率。它可以安裝在各種設施類型和大小中,並且高度可配置。
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