二手 AMAT / APPLIED MATERIALS PRODUCER GT ETERNA #9305827 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS PRODUCER GT ETERNA是一種高通量的先進工藝反應器.它是專為生產半導體晶片而設計的，因為它具有快速熱退火（RTA）和氧化的能力，而它的溫度控制和處理低型晶片仍然可靠。AMAT PRODUCER GT ETERNA反應器是一種可靠、內在安全的工具，適用於快速熱退火、氧化、擴散、介電沈積等應用。它提供了先進的工藝能力，如具有優化溫度曲線的介電沈積、復合半導體的快速熱退火以及低阻和高阻材料的沈積。該反應器由一個多晶矽尖端的加工管組成，在該管中進行晶圓的高速氧化，以及一個容納加工管和其他部件的生產室。該工藝室由三個電路組成：柵極電路、高壓氧化電路和退火電路。柵極電路負責多晶矽尖端工藝管的熱管理，而高壓氧化電路則提供氧化反應的高度可控性，退火電路則提供了膜的高效熱活化。反應堆還包括多項綜合安全措施，如流動環路安全、過電壓保護和CTE（熱綜合保護），以進一步提高運行過程中的安全水平。Flow Loop Safety監視反應堆內部的壓力，超過某個設定閾值將停止運行。當檢測到過量電壓時,過電壓保護將監視和關閉系統。CTE（熱綜合保護）是當反應堆某些關鍵部分的溫度超過可接受範圍時，將監視和關閉系統的一項功能。應用材料生產商GT ETERNA是全球所有半導體工廠使用的可靠、通用的工具。這些功能與增強的過程控制相結合,為客戶提供可靠的晶片生產,提高產量,從而提高生產操作的產量。PRODUCER GT ETERNA反應堆具有很高的通量能力，能夠滿足半導體生產的要求，同時又不影響質量。