二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT SiCoNi #9375200 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT SiCoNi是一種先進、高效的化學氣相沈積（CVD）室，設計用於半導體工業。該反應器在CVD室的加工表面上利用了一種專利的多孔SiCoNi（碳化矽鎳）塗層，以提高均勻性，提高吞吐量，減少CMP負載。獲得專利的SiCoNi塗層提供了獨特的化學、熱和機械性能組合。具有良好的沈積均勻性，可實現精確的工藝控制和可重復性。其熱穩定性也允許增強CVD工藝穩定性。高耐熱性和化學性相結合，也可改善清潔過程中的CMP載荷。AMAT Producer GT SiCoNi CVD腔室配備了高溫脈沖CMP加載能力，允許在清潔過程中卓越的CMP加載和質量控制。它還具有一個低流量的高性能Cooljet™清潔系統，它能迅速清除室內的汙染物並保持室內的完整性。APPLIED MATERIALS Producer GT SiCoNi配備了多種工藝氣體，包括氮氣和氧氣，以提供最佳的工藝兼容性。它具有低能矽噴射器，可以降低蝕刻溫度，改善工藝控制和穩定性。為提高工藝參數的穩定性和可重復性，該反應器還采用雙區熱墻設計，用於均勻的溫度控制。生產商GT SiCoNi能夠使用全自動負載鎖處理200 mm大小的晶片,方便晶片裝卸。其先進的溫度控制系統在長期生產過程中保證了可靠的工藝穩定性，也便於工藝設置。此外，反應堆設計符合最嚴格的安全標準，確保工業環境下的最大安全。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT SiCoNi是一款多功能的CVD腔室，旨在滿足半導體行業的高質量和性能預期。其先進的工藝能力，加上先進的SiCoNi塗層，提供卓越的工藝控制和均勻性。它的多功能性和性能使其成為最具挑戰性的半導體工藝的理想解決方案。