二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #293600877 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT是一種用於半導體器件制造的單晶圓快速熱處理（RTP）設備。該系統專為高性能和吞吐量而設計，具有多種氣體選擇，能夠提供快速的多循環溫度分析。RTP單元利用石英管作為加工室，用石墨敏感器將熱量從電動鹵素燈輸送到晶圓。敏感器配有熱電偶和氣體噴嘴，提供精確的溫度控制和均勻的氣體輸送。氣流通過分子束屏蔽傳遞，可以編程為提供環境空氣和氫氣、氮氣或其他工藝氣體的精確混合。AMAT Producer GT還具有一個背面冷卻設施，確保晶圓的溫度永遠不會超過臨界水平。它還配備了先進的光學傳感技術，以監測工藝室的背面，並檢測晶圓的任何潛在過熱。應用材料生產商GT還擁有一個完全集成的、直觀的晶圓處理機，以確保晶圓以安全無誤的方式滑出石英管。該工具還可以配置許多選項,例如示例加載/卸載機器人、晶圓映射系統和多區預熱系統。此外,Producer GT支持多種工藝溫度和快速熱偏移,非常適合高溫工藝配方和溫和加工。它還提供了磁感器平臺的自動平整,以確保晶圓與磁感器的距離保持在嚴格的公差範圍內。資產配備了高級監控和診斷功能,使流程工程師能夠遠程監控其流程配方,監控環境和流程結果,並從中心位置控制模型。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT還具有內置的安全功能,例如惰性氣體凈化設備、過熱保護以及發生電源故障時自動關閉。總而言之，AMAT Producer GT是一個健壯可靠的系統，為半導體器件制造提供了快速高效的RTP處理解決方案。它是為最佳性能和精度而設計的，非常適合快速熱退火、快速熱氧化和淺層結形成等一系列應用。