二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #293616131 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT是一種用於蝕刻和薄膜沈積的反應性充氣管反應器（RGR）。它允許精確控制反應性氣體、溫度、壓力和時間，以編程一系列薄膜沈積演化。此RGR非常適合執行一系列薄膜沈積應用,包括通常用於處理半導體和光電器件的應用。AMAT Producer GT的氣體輸送設備在保持所需操作壓力的同時，在多個氣源之間輕松快速地變化。此功能減少了在運行之間更改過程氣體所需的時間,從而提高了吞吐量。其精確度也提高了薄膜沈積演化的整體性能。APPLIED MATERIALS Producer GT具有三頻無功離子蝕刻（RIE）電流源,可調頻率範圍為0-600 kHz,輸出高功率（>200 W）。此功能可精確控制輪廓均勻的細膩基板的蝕刻速率。生產GT的溫度控制系統是為保持安全一致的工作溫度而設計的。它配置為在需要時自動調整工作溫度,並且可以設置為5-400C的溫度範圍。這種溫度範圍保護為薄膜沈積和蝕刻提供了可靠的處理。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT是用閉環反饋單元設計的，用於監測蝕刻和沈積的電流和電壓設置。這臺機器不斷調整設置以保持最佳性能。此外，RGR配備了自動快門工具，在需要時打開和關閉蝕刻室。這使資產能夠在孤立的大氣中運行，從而提高了大氣條件的統一性和控制力。最後，AMAT Producer GT設計了一個完整的安全模型來監控腔室的操作參數。該設備通過檢測任何危險釋放物確保操作員和設備的安全。如果出現任何偏差,它將提供可聽和視覺警報。總體而言，APPLIED MATERIALS Producer GT是一種高性能的反應性充氣管反應器，旨在優化薄膜沈積和蝕刻應用。它擁有三頻反應性離子蝕刻（RIE）電流源、氣體監測系統、溫度控制單元、閉環反饋機、自動快門工具以及完整的安全資產。GT是加工半導體和光電器件的可靠、準確的器件.