二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #293618158 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT是一種先進的熱蒸發器設備，設計用於在各種基板上沈積薄膜。它主要用於電子材料和元件制造。AMAT Producer GT為薄膜的沈積提供了極好的可靠性和精確度，符合制造商的確切規格。該系統能夠沈積各種材料，包括矽、鋁、鈦和其他金屬。應用材料生產商GT利用電子束蒸發器在基板上沈積高度均勻的薄膜。電子束的工作原理是將原料加熱到一個電子熔爐中，然後發射一個電子束，將材料蒸發到基板上。光束可以聚焦到基板的一部分以沈積較厚的薄膜，或者光束可以分布在多個區域以產生更均勻的薄膜。該光束能夠生產厚度從亞納米到微米不等的薄膜。原料的溫度由石墨敏感器控制，由高頻感應加熱。這種高頻感應和感應加熱的結合提供了精確的溫度控制和均勻的沈積。生產商GT還包括一個真空裝置，用於排空腔室和一個用於安裝基板的底板。真空機包括渦輪泵、消聲器和同軸疏散的有源機械泵。這使得疏散過程能夠得到精確控制，以維持所需的膜沈積氣氛。最後，AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT配備了用於泄漏檢測的高分辨率質譜儀和用於增強過程控制的冗余備份工具。高分辨率質譜儀的設計使其能夠準確地測定整個過程壓力，從而實現精確的過程重復性。AMAT Producer GT是一種先進可靠的熱蒸發器資產，為薄膜的沈積提供了精度和均勻性。它非常適合制造精密的電子材料和元件。