二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #293627621 待售

AMAT Producer Gold（AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT）是等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）反應器的一種。設備使用等離子體在半導體等電子基板表面沈積高質量薄膜。AMAT Producer GT是一種用途廣泛的PECVD系統，能夠處理多種材料，包括矽烷、氮化物、氧化物和氟碳。該反應器具有生產級工藝室的特點，它提供了對基板的開闊通道、優越的均勻性控制以及更好的窄特征過程控制。生產級腔室還設有兩個射頻熱源，一個微波等離子體源和一個高頻磁控管源。這種獨特的組合允許增加等離子體控制，更好的均勻性和高沈積速率的大範圍層材料。APPLIED MATERIALS Producer GT被設計為提供可重復、可靠和高效的過程。它的主要特點包括高溫處理能力高達800攝氏度，以及室內的加熱和冷卻墻壁。這確保了一致和可重復的結果,即使在處理異國情調的材料或執行高端工藝步驟時也是如此。生產者GT還結合了APPLIED MATERIALS專有的VESPER（可變能量表面等離子體增強型反應器）技術，該技術允許精確控制等離子體密度、能量和分布。VESPER還為用戶提供了對薄膜厚度、組成和折射率的精確控制。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT能夠運行一系列晶圓尺寸,直徑從2英寸到8英寸的晶圓。AMAT Producer GT包括一個精確的逐層過程控制單元，它監視沈積運行的每一層的參數和數據。這允許精確和可重復的進程,並使用戶能夠在每次運行時始終獲得所需的結果。APPLIED MATERIALS Producer GT還配備了一臺具有幹氮凈化功能的低溫烘焙機，允許標準生產溶液溫度為-25攝氏度至+200攝氏度。最後，生產GT是一種用於高端沈積過程的PECVD反應器。該工具具有多種功能,可確保可重復和可靠的過程,以及精確的薄膜厚度和成分控制。該資產能夠運行一個晶圓大小的數組,並且其逐層進程控制模型可實現每次運行的精確且一致的結果。