二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #293822848 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT是一種等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）反應器，用於沈積多晶矽、氮化矽、二氧化矽等含矽材料的薄膜。該反應堆的設計旨在優化先進的加工性能，並以高達1000納米/小時的速度提供高均勻性和一流的薄膜質量。雙射頻源配置（拆芯）允許對沈積材料進行靈活的功率和速率控制，以滿足特定應用的需要。大的磁化器尺寸和增強的均勻性控制使得它非常適合將材料沈積到諸如晶片之類的大基板上，同時仍然能夠精確調整設備尺寸。腔室分為兩個獨立壓力控制的垂直工藝區，上下兩個區的真空水平分開。這種設計允許以不同的速率沈積材料，並防止不同工藝之間的交叉汙染。此外，反應堆設計有先進的垂直冷卻特性，以保持整個腔室和兩個垂直加工區之間的統一溫度控制。一種先進的閉環測試（CLT）設備可實時快速測量和調整工藝參數，從而確保精確的薄膜質量和非常高的均勻性。PECVD系統具有多種不同的應用選擇,包括側壁沈積、高速率沈積、低k沈積、平面化、蝕刻/條帶和多層/堆棧沈積。此外，該裝置還可進一步配備先進的氣體供應系統，例如動態低氟化物（DLF）選項，有助於最大限度地減少任何可能的汙染。簡而言之，AMAT Producer GT PECVD反應器是一種先進的機器，具有易於使用的控制和出色的均勻性控制，設計用於卓越的沈積性能和提供頂尖的薄膜質量，具有滿足特定工藝要求的靈活性。