二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9169317 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT是一種單晶片或批量熱化學氣相沈積(CVD)反應器,設計用於在半導體、光電和太陽能電池上生產多種材料的大面積薄膜層。AMAT Producer GT反應堆以其精密的特性和多用途的工藝能力而聞名,使其適合一系列的應用。系統設有高品質的製程室,容積33升,溫度範圍可達1000 °C。它具有強大的設計,可確保可靠的過程控制和一致性,並具有300 mm x 300 mm晶圓處理能力。其獨特的均勻輻射吸熱器設計確保了基板和工藝氣體的均勻加熱,從而實現了更好的工藝控制和高通量。應用材料生產商GT反應堆由最先進的工藝控制器提供動力。它具有先進的算法,允許手動和自動晶片成形,使用戶能夠針對不同的晶片類型和大小優化工藝性能。控制器還支持多種配方,方便對不同材料的過程進行編程和優化設置。該系統還配備了多個氣源和閥門,允許根據流程進行精確和可定制的氣流。它還具有一個用於在加工過程中進行精確快速氣體交換的高真空泵送模塊,以及一個用於精確物料輸送的熔爐插件。生產GT反應堆是現代半導體、光電、太陽能電池應用的理想選擇。憑借其創新的設計、堅固的構造、精確的控制和多用途的工藝能力,用戶可以高效生產高品質的薄膜和具有最高級別的可重復性和均勻性的大面積層。
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