二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9198380 待售
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已售出
ID: 9198380
晶圓大小: 12"
優質的: 2008
CVD System, 12"
Qty / Part number / Description
(1) / 0190- 03068 / PIO Cable board OHT
(1) / 0190- 44306 / Loadlock EUROTHEM
(3) / 0140- 18773 / Pedestal lift motor cable side 1
(3) / 0140- 18772 / Pedastal lift motor cable side 2
(6) / 3700- 01376 / Pedastal O- ring
(1) / 0140- 17152 / Chamber controller signal cable
(2) / 0195- 11067 / Chamber AC box
(3) / 3980- 00027 / RING BOLT, MF80, 5.95OD W /.358
(6) / 0021- 98006 / ENP Cover, crossdrill
(1) / - / LCF Sensor cover
(3) / - / EV3 Manifold
(2) / - / LCF Sensor window
(8) / - / LCF Sensor srew
Currently warehoused
2008 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT是用於半導體生產的最先進的化學氣相沈積(CVD)反應器。這種設備的先進設計使其成為在半導體基板上生產高品質、超薄層材料的理想工具。該系統采用兩室設計,允許靈活的過程。主室為反應室,配有一系列氣體入口,可根據不同配方調節。這個腔室還裝有一個熱壁感光器和一個電磁等離子體源。將感光器加熱至高達950°C的溫度,以提供開始化學反應過程所需的能量。與此同時,等離子體源有助於將氣體分子分解成它們的組成原子,並確保這些原子的均勻分布。該單元還配備了控制器和用戶界面。用戶可以輸入所需的配方,然後控制器將相應地配置計算機。這確保了CVD過程的所有步驟都將被考慮在內。用戶還可以調整溫度、壓力、流量等各種參數,以細化工具的性能。工藝完成後,冷卻排氣管線離開反應室,將廢舊的工藝氣體引導到資產之外。冷卻模型還有助於確保腔室的溫度和壓力保持在最佳水平。除了功能外,AMAT Producer GT還提供了廣泛的高級功能,包括反應性高長寬比CVD、低溫快速熱處理(RTP)、超低溫CVD (LTCVD)等等。這種設備的先進設計使其能夠容納各種各樣的基材和材料,使其成為半導體生產的通用工具。總之,APPLIED MATERIALS Producer GT是一種先進的CVD反應堆,設計靈活,可以容納各種各樣的底物和材料。它提供了廣泛的特性和功能,以及易用性和強大的控制器和用戶界面。這使得它成為生產用於半導體生產的優質材料層的理想工具。
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