二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9203130 待售

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ID: 9203130
晶圓大小: 12"
Chamber, 12" P/N: 426362B.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT Reactor是一種用途廣泛、高效的外延增長設備,設計用於復合半導體材料的商業化生產。該系統促進具有各種生長溫度和持續時間的層的增長,從而能夠沈積制造先進半導體產品所必需的高質量器件結構。該反應堆采用先進的爐級設計,允許精確的生長溫度控制和均勻的加熱。AMAT Producer GT反應器配備了擴散、氧化和熱處理能力,以提高外延層質量。它還包括一個提供精確氣流控制的原位四區氣體擴散單元。此外,它還包括一個用於基板運動和溫度控制的高性能基板熱級平臺,包括無需人工幹預的自動基板傳輸。應用材料生產商GT機還配備了先進的氣泡,安全方便地提供了恒定的質量流量和氣體濃度。這確保了所有組件在所需的暴露期內都能準確地暴露於各自的反應物氣體中,從而實現每批設備性能的一致。該工具的自動化體系結構專為具有高吞吐量且不影響資產性能的優化工作負載而設計。諸如配方設置、警報響應處理和隊列優先級管理等個性化的任務管理功能最大程度地提高了模型利用率。集成的流程智能還使用戶能夠通過提供直觀的圖形用戶界面來進行診斷和配方優化,從而快速可視化流程參數。這可以提供可配置的多維過程數據視圖,從而實現可靠和準確的決策。生產商GT Reactor最大限度地提高了工藝靈活性,允許用戶從一種配方快速輕松地切換到另一種配方。此外,高效的設備技術可將氣體消耗降至最低,從而提高工藝產量,並減少停機時間。通過以經濟高效的方式提供高質量、高度復雜的半導體器件結構,反應堆為大批量商用半導體器件生產提供了巨大的價值主張。
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