二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9206068 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT，又稱PGT，是一種處理矽晶片的工具。它是一個模塊化反應堆，使用集群式平臺，並提供許多功能。AMAT生產GT包括三個主要組件：工藝步進室（PSC）、中央控制器和傳輸系統。PSC是系統的心臟，由中央控制器控制。它是執行所有處理的圓柱形腔室。在內部，許多熱隔離氣體噴射器圍繞著容納晶片的法蘭。噴射器可以精確控制室內的溫度和壓力，允許精確控制氧化和蝕刻等過程。要將晶片進出PSC，APPLIED MATERIALS Producer GT可以配備多種不同的傳輸系統。一個標準的傳輸系統包括一個入口端口，負載鎖和晶圓更換器。還有各種自動化和手動轉移系統。PGT能夠處理300和200 mm晶圓,並且可以接受和處理各種晶圓類型。它提供50-1200攝氏度的寬加工溫度範圍，壓力範圍為1-50托。這允許各種過程，如氧化、蝕刻、沈積等等。由於其精確的控制能力、自動化的傳輸系統和精心設計的傳感器,GT生產商還提供了出色的可重復性和準確性。這樣就可以在不同的工藝和晶圓類型中始終保持較高的收率和收率。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT是各種半導體和光伏應用的絕佳工具。它允許對各種晶圓類型進行經濟高效和可靠的處理,並提供出色的可重復性和準確性。該工具模塊化，易於定制，適合用於生產和研發應用。