二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9208937 待售
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已售出
ID: 9208937
晶圓大小: 12"
優質的: 2011
CVD System, 12"
Items: FI
FI Robot
FI Robot controller
Aligner
Cool station
FES
FIS
TCS/RT
FFU
Items: LL
LL Upper lifts
LL Upper lift drivers
LL Lower lifts
LL Lower lift drivers
LL Pump
LL Foreline
Items: BUFFER FX
Robot
FX Robot linkage (batwing/bridge)
Robot blades
Robot controller
LCF
Buffer pump
Buffer foreline
MF Controller
Chamber A- ETERNA FCVD
RPS
Upper lid stack (gas box, face plate, isolator)
Ceramic process kit
Heaters: Pedestal
Pin lifts
Pin lift driver
Heater lifts
Heater lift drivers
Ch FL, TV, Iso valve
Gas panel (MFC, LFM intact)
Chamber controller
Chamber B- SACVD
RPS
Upper lid stack (gas box, face plate, isolator)
Ceramic process kit
Heaters
RF Filters
Pin lifts
Pin lift driver
Heater lifts
Heater lift drivers
Ch FL, TV, Iso valve
Gas panel (MFC, LFM intact)
Chamber controller
Chamber C- ETERNA FCVD
RPS
Upper lid stack (gas box, face plate, Isolator)
Ceramic process kit
Heaters: Pedestal
RF filters: N/A Pin lifts
Pin lift driver
Heater lifts
Heater lift drivers
Ch FL, TV, Iso valve
Gas panel (MFC, LFM intact)
Chamber controller
2011 vintage.
AMAT/APPLICED MATERIALS Producer GT是一種高通量、單室、水平、封閉式的反應器，用於生產單晶和多晶半導體材料。該設備具有較高的吞吐量能力,從而縮短了周期時間,並提高了材料產量。該系統包括一個先進的圖形用戶界面，允許快速和容易的參數控制。它還包括一個渦輪泵浦，水平支撐腔室為最佳的熱性能和均勻性。AMAT Producer GT包括一個集成的光源crucible與一個先進的溫度控制單元完美晶體生長。一個自動基板支架允許精確的基板定位和控制基板的運動。它還有一個先進的用於更精確溫度讀數的高溫計，以及一個低壓原位氣體噴射機，用於最佳生長條件。應用材料生產商GT尺寸方便，便於在標準半導體制造實驗室安裝和操作。利用高性能磁體為均勻晶體生長提供最優均勻的磁場強度。它還配備了動態冷卻工具，以減少腔室的熱循環，減少汙染物沈積。此外,該資產還包括用於確保晶體均勻生長的高級基板邊緣剖面分析功能,以及用於降低熱應力的集成晶圓冷卻模型。總體而言，Producer GT是一種先進、超快的半導體材料生產反應堆，提供無與倫比的性能、可靠性和效率。憑借其先進的用戶界面、堅固的溫度控制設備、集成的光源合約、動態冷卻系統以及先進的晶圓冷卻單元，這款高性能反應堆是最先進的半導體生產的理想選擇。
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