二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9227461 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT Reactor是一種業界領先的集成單晶片電感耦合等離子體（ICP）設備,專為半導體器件制造而設計。這種緊湊型反應堆具有一個ICP源和一個積液池，每小時可提供高達80個晶圓的高通量，並提供精確的工藝控制，以創建堅固可靠的設備結構。該系統還采用了專有的晶片處理技術Aerosol Jet Coater，它為毯層塗層和蝕刻速率提供了卓越的一致性和均勻性。AMAT Producer GT ICP源設計用於優化工藝性能和產量控制,采用定制線圈技術,可最大程度地減少功率波動,同時提高晶片之間的等離子體均勻性。該單元還具有獨特的自動功率控制算法（APC），以進一步提高工藝精度和重復性。此外，源的高頻調制能力允許對等離子體分布進行微調，以進一步提高過程的可預測性和可重復性。Aerosol Jet Coater使用專有的液滴技術，將薄膜植入物均勻地沈積在晶圓兩側。這項創新技術可實現高達4 μ m的高精度、可調膜厚度,均勻度超過2%。此外，它還具有可調的面積覆蓋水平，從而能夠精確控制薄膜沈積過程。應用材料生產商GT處理器還具有一個用於控制元件源均勻性的多管積液單元，以減少界面阻力和接頭泄漏。機器還有一個排氣室，確保最優氣流達到最大膜均勻性，同時確保消除所有顆粒。生產商GT反應堆非常適合廣泛的納米級制造應用，包括MEMS、納米結構、金屬氧化物半導體、納米結構材料和光電材料。該工具可集成到模塊化工具配置中,從而為各種半導體器件制造需求提供端到端的工藝解決方案。AMAT/APPLIED MATERIALS PRODUCER GT反應器具有卓越的工藝控制、豐富的性能和嚴密的均勻性控制,是制造尖端納米級器件的理想選擇。