二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9235066 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT Reactor是一種先進、先進的材料沈積（AMD）室，用於生產半導體器件的淺溝隔離（STI）、屏障金屬和鈍化層。這項先進的技術，加上高度的制造精度、精度和魯棒性，使得AMAT Producer GT Reactor成為制造先進半導體器件的高度可靠和高效的沈積設備。應用材料生產商GT反應堆包括幾個最先進的特點和能力。該系統提供高生產率，能夠並行執行多個復雜過程。該裝置的主要部件包括一個自動沈積室、一個磁感器和晶圓轉運器、一個準備就緒的室、一個雙室微波發生器和幾個附加附件。反應堆通過將矽晶片暴露在高真空環境中來運行。磁化器將晶片提升到生產階段的工藝位置，而晶片轉運器則將晶片從階段帶回存儲托架。磁感器、晶圓轉運器和生產階段均采用電動供電。Epi-ready chamber is where the ultimate deposition process occess.密室內的一臺精確的送貨機，將矽、二氧化矽或矽化物等材料從原料箱以薄而均勻的薄膜的形式供應到加熱的感光器上。然後將這種沈積的材料拋光、蝕刻或經受其他在晶片上產生所需特征的工藝。微波發生器是工具中最精密的元件。它用於產生微波能量，以精確加熱晶片，並實現高度精確和一致的薄膜沈積。Producer GT反應堆的雙室微波發生器包括四個獨立的天線、兩個微波控制箱單元和多個射頻源。微波發生器還提供極低溫度的基板加熱，既節能又在整個基板上均勻，從而防止對基板的熱損傷。資產的其他先進特點包括先進的安全聯鎖、自動標定磁感器高度和溫度以及閉環溫度控制。所有這些特點使AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT Reactor成為先進半導體應用最先進、最可靠的沈積系統之一。