二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9244810 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT是一種廣泛用於外延和沈積工藝半導體制造的反應器。它是AMAT系列工業沈積系統的旗艦工具,用於研究和工業設施。AMAT Producer GT是一種垂直反應堆,結合了多種技術,形成了先進半導體工藝的強大解決方案。TheProducer GT反應堆配備了幾個獨特的功能,包括最多四個腔室區域、Planar GrowthTM過程控制以及先進的Q-FlexTM源技術。APPLIED MATERIALS Producer GT的Planar Growth process control feature provides automated inde-by-lade-lagth growth,允許在橫向模式穩定性大大提高的情況下產生連續的均勻層。這種過程控制是由反應堆的高級監測系統(Advanced Monitoring System,AMS)管理的,該系統是一種高度精確的耦合光學/電氣測量發動機,能感應到原位外延過程參數。AMS不僅不斷監測底膜層的厚度和組成,還相應地進行補償,以確保更好的膜質量。此外,Producer GT還利用Q-FlexTM源技術。此技術允許更快的源交換時間和更高的工藝溫度,從而提高生產吞吐量。集成的質量流控制器也被用於精確的源代碼控制,使整個過程的過程控制更加嚴格。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT進一步配備了先進的安全系統,包括智能主動屏蔽、自動壓力管理和二級安全控制器。這些相互連接的系統在運行過程中提供無與倫比的安全保證,大大降低了發生事故或損壞設備和人員的風險。最後,AMAT Producer GT用戶友好,具有大觸摸屏圖形用戶界面(GUI),使反應堆易於操作。GUI還為實時數據提供了全面的監控儀表板,確保用戶能夠在必要時跟蹤和測量所有關鍵反應堆參數。綜上所述,APPLIED MATERIALS Producer GT是一種工業級反應堆,設計用於半導體的高效安全沈積。其先進的Planar Growth、Q-Flex源和先進的安全系統技術最大程度地提高了工藝正常運行時間、質量和產量。這個強大的解決方案是研究人員和工業設施的理想選擇。
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