二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9245892 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT是一種半導體製造工具，旨在為各種應用產生複雜的功能性晶片。該工具旨在使集成電路和其他微電子元件能夠大規模生產。該反應堆用於半導體工業中的多種工藝，包括沈積、蝕刻和氧化。AMAT Producer GT利用集群工具平臺進行高通量和高產制造。該系統專為提高復雜半導體器件的吞吐量和制造效率而設計。該工具采用模塊化、可調的腔室結構，可容納各種加工工具。可以將多個工藝工具組合到一個腔室中,從而實現更高的生產率和靈活性。該工具配備了高級控制功能和功能,包括自動配方設置、閉環控制、優化吞吐量的工具分期以及可編程基板處理,以實現最高正常運行時間。該工具具有幾種類型的反應堆，以滿足各種工藝需求。其中包括低壓化學氣相沈積（LPCVD）和等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）室；蝕刻室；氧化室；直列門蝕刻工具；和拋光劑，用於多種材料，如多晶矽、鎢、氧化物、氮化鈦和氮化物。APPLIED MATERIALS Producer GT提供了一個集成的過程流,其中包含許多高級功能,包括基板負載鎖定、溝槽監視器、自定義過程控制邏輯和缺陷管理功能。該工具還具有用於監控性能的內置維護跟蹤系統和設計用於部件轉移、存儲和檢索的子系統倉庫。生產商GT是用於制造高度復雜的半導體器件的先進工具。該工具旨在最大限度地提高吞吐量和制造效率,從而實現關鍵組件的高效批量生產。該系統的模塊化結構和先進的過程控制使其成為半導體器件制造的寶貴資產。
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