二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9251458 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS PRODUCER GT是一種等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）設備，用於生產半導體材料如氧化矽、氮化矽、低k電介質。它是一種強大可靠的工具，可以將高質量的薄膜沈積在基板上。AMAT Producer GT的飛機級鋁室設計，使它可以在較大的基板區域上提供均勻的等離子體。功率高達500瓦的多源射頻發生器可精確控制施加在腔室上的射頻。這使用戶能夠完全控制沈積參數，從而能夠生產厚度和組成高度均勻的薄膜。應用材料生產商GT達到低至250-400 ℃的沈積溫度,具有快速的斜坡上升時間,適用於氧化物沈積和表面鈍化等多種過程。其直觀的氣流控制系統可實現多種氣體輸送,為不同的應用提供定制的薄膜配方。生產商GT能夠在長時間的沈積過程中提供穩定的等離子體，引入最小的顆粒並避免腔壁重新沈積。它還確保等離子體均勻性和可重復性跨越所有底物和工藝參數，使其成為一個適合大批量生產的工具。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT采用了非常堅固的設計,可最大程度地減少過程漂移並優化多腔室系統的產量。其先進的診斷提供了晶圓吞吐量一致性的快速反饋，實現了卓越的工藝控制。此外,其板載故障檢測和隔離裝置可確保高機器可用性,減少停機時間和相關成本。總體而言，AMAT Producer GT是在大批量生產中精確沈積介電和表面鈍化薄膜的理想工具。它的飛機級鋁室設計允許在一個大的基板區域上創建一個精確而均勻的等離子體。多源射頻發生器和集成氣流控制工具使用戶能夠完全控制沈積參數。此外,其先進的診斷、故障隔離資產和可靠的設計有助於確保卓越的過程控制和高模型可用性。