二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9251459 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT是一種高生產力的300 mm垂直擴散化學氣相沈積反應器，非常適合生產大量的薄膜半導體材料。反應堆的設計適應了大批量制造、過程控制和均勻性要求。該反應器的垂直幾何形狀確保了高通量和低沈積速率，同時在整個晶片表面提供了極好的均勻性。AMAT Producer GT采用高溫單區反應堆設計。它配備了三個6 kW、800安培RF發電機電源，此外還有一個三軸RF變壓器。這種設備非常適合薄膜材料的沈積，如矽、鎢、鈦、的、銅、鋁等。APPLIED MATERIALS Producer GT專為優化層均勻性而設計。在引入沈積室前，室內溫度受到嚴格的調節和冷卻氣體，從而顯著降低室內溫度。反應堆具有多級負載鎖定系統，在多個腔室提供過程靈活性和穩定性。工藝參數，包括溫度、壓力和氣流，可以精確調整。它還采用了四室氣體分配單元，進一步降低了工藝變異性。此外，一個可選的氣體屏障機器提供有效的汙染抑制沈積室內。為了優化過程控制,Producer GT配備了一整套實時診斷和控制工具。這些工具允許實時監視所有關鍵流程變量,並能夠快速調整流程參數以處理任何設置或操作更改。這樣可以確保在大批量生產運行中始終實現統一的結果。AMAT/APPLICED MATERIALS Producer GT還具有樣品負載鎖，專門設計用於容納300毫米、25毫米和12英寸晶圓尺寸。樣品負載鎖具有晶片處理端口、氣體清除端口、氣體歧管和樣品定位控件，所有這些控件都能完全控制樣品的插入和從負載鎖腔室中移出。AMAT Producer GT為制造高品質的薄膜半導體材料提供了一個通用、可靠、可靠的生產環境。其先進的設計確保了出色的層均勻性、過程靈活性和過程控制,而其堅固耐用的結構則確保了滿足大批量制造的苛刻要求。