二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9253662 待售

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ID: 9253662
晶圓大小: 12"
優質的: 2015
PECVD System, 12" SiCoNi Clean chamber Other options and factory interface options: Additional loadport Infopad pos A or B Configurable colored lights Front facing intake plenum Upper E84 sensors and cables TIRIS With RF E99 Carrier ID Operator access switch Light curtain Remote options: Heat exchanger hoses and manifolds Facilities UPS interface Remote flat panel monitor on stand Through the wall flat panel monitor with keyboard Non standard request: Kit (2) Additional heat exchangers Manifolds H Chamber FI Removal Producer GT custom option Pre-align center single axis 5.4 FI New core Power vaccine AMK Handling items 2015 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT是一種用於處理半導體器件的真空沈積設備。該反應器可用於各層集成電路的保形、均勻薄膜的高密度應用。它是一種全自動工具,旨在提高流程的統一性、生產率和產量。AMAT Producer GT配備了大容量負載鎖定系統,允許連續高真空操作。該機組還采用了溫度範圍高達600°C的先進加熱技術,用於要求更高的工藝。此外,反應堆具有廣泛的沈積源和多個工藝室。這允許同時處理多種材料,為各種沈積過程提供了高效的平臺。APPLIED MATERIALS Producer GT利用幾個高級功能來增強工藝性能。這包括壓電電機,方便晶片卡盤的精確運動控制,而先進的等離子體控制(APC)機器確保最佳等離子體條件。此外,該反應堆還利用可變壓力工具,允許將腔室壓力調整到工藝窗口內的最佳範圍。生產商GT是CMOS和MEMS等高密度應用、薄膜磁光器件以及其他先進沈積工藝的理想選擇。它提供了優於傳統沈積技術的薄膜均勻性,即使對於垂直縮放的幾何形狀也能實現高度均勻的薄膜。此外,等離子體和高達600°C的溫度相結合,可促進包括ALD/CVD在內的高級沈積過程。此資產高度堅固耐用,設計輕巧小巧,易於安裝和維護。總體而言,AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT是一種先進的工藝工具,可實現半導體行業的高密度應用。它為需要嚴格控制厚度、溫度、壓力和均勻性的沈積過程提供了有效的解決方案。此模型非常可靠,提供了一致且可重復的過程,有助於減少周期時間並提高所需的精確結果。
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