二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9275950 待售
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單擊可縮放
ID: 9275950
晶圓大小: 12"
優質的: 2012
System, 12"
EFEM
O3 Rack
AC Rack
NPP Rack
Main TM
HARP USG Chamber
Monitor
(3) Part boxes
(2) KAWASAKI 3NS510B Atmospheric robots
UPS Interface
Front Interface (FI):
(3) Part boxes
WIP Delivery type: OHT
Chamber A, B and C twin: HARP USFG
Local center finder
Robot blade and type: FX Dual deck ceramic
Chamber A, B and C:
HA12 Dual zone heater
Face plate: Water cooled
Manometer: 20/1000 Torr
Clean type (RPS): MKS FI80133
No NDTR endpoint
No DPA
Foreline, 2"
ISO: NORCAL 021010-1
TV: MKS 683B-31931
Monitor: Stand alone
Chamber C: AX8407A Ozone generator
Ozone generator rack: Eterna
Gas delivery - APF GP:
MFC: GF 125
Gas feed: Bottom
Gas panel cabinet exhaust: Bottom exhaust
NIPPON Filters
Manual valves: FUJIKIN
Pneumatic valves: FUJIKIN
Liquid source
No regulated gas panel
No interlock indicator
No transducers
No display gas pallet
Gas pallet configuration:
Chamber A, B and C:
MFC: N2-Purge
Gas / Size
NF3 / 15000
AR / 15000
N2 / 5000
O2 / 30000
HE / 30000
N2 / 50000
LFM: STEC
TEOS: 7g
Spare parts included
Missing parts:
(2) AX8407A Ozone generators
(6) 0246-22744 Heater lift assemblies
0240-80219 Ring
(2) Ceramic heaters
Chamber B: Lift assembly
Chamber B and C: (2) Controller boxes with board
Power supply: 208 V, 50/60 Hz
2012 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT是一種用於光伏材料薄膜沈積的高度先進的下一代反應器。它旨在實現光伏（PV）制造工藝的全面自動化，從材料前體到高效光伏電池和模塊。自動化、靈活性和高性能的結合使得AMAT Producer GT成為光伏制造的革命性工具。應用材料生產商GT基於多個進化世代的技術和創新.先進的第10代平臺由全自動、專用的多工具反應堆組成，具有集成的過程模塊和軟件控制。特性和進步包括基板-步進位移、基板尺寸/形狀適配器、先進的氣流控制以及低成本的源代碼集成。生產者GT中包含的集成過程模塊用於為光伏電池和模塊世代開辟新的機會。這些最先進的模塊提供了在大容量和高吞吐量下成功生產所必需的最高級別的性能和靈活性。該工藝模塊可用於薄膜材料的沈積以及對光伏材料層厚度和組成的精確控制。AMAT/APPLICED MATERIALS Producer GT還可以以優異的效率生產雙結和三結薄膜太陽能電池和模塊。軟件控制平臺還允許結合流程模塊進行高級操作。這包括手動和自動操作以及實時過程監視、故障排除和診斷。完整的自動化系統可實現更快的吞吐量,從而扭轉生產成本,提高產量,並嚴格控制所有參數以實現最大輸出。在合成方面，AMAT Producer GT提供了許多優點和好處，能夠高效生產光伏材料。平臺自動化沈積過程，減少誤差和成本，推動更高效率的光伏電池和模塊生產。它是尋求優化高效光伏電池和模塊生產的組織的理想選擇。
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