二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9282971 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT是為材料處理應用而設計的先進反應堆。它是等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）機的一種。該反應堆利用電離等離子體的增強形成材料膜和塗層。AMAT Producer GT有一個高強度的陶瓷鐵基板支架，設計用來承受更高的溫度。這個基板支架有一個石英晶體敏感器，可以達到高達300 °C的溫度。它還有兩個陶瓷鐵加熱器，允許溫度升高到400 °C。應用材料生產商GT反應堆采用多圓燃料設計。這種設計利用獨特的多環構型來產生均勻的等離子體沈積。多圓燃料設計還能夠對沈積和清理循環之間的完美過渡進行精確的過程控制。反應堆配備了獨特的雙區特性，可以針對不同類型的材料編程不同的等離子體條件。生產者GT利用先進的電子回旋共振（ECR）技術。這項先進技術使高密度等離子體具有改進的電離。這種增加的電離使材料膜和塗層的沈積速度更快，均勻性更高。ECR設備還降低了與沈積過程相關的生產成本。反應堆的真空壓力範圍為1x10-7至1x10-3 Torr。它還具有幾個安全特性，如防爆進入腔室、緊急空氣關閉和熱氣繞行管道。此外，AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT反應堆還配備了先進的遠程接入系統。這允許從一個遠程位置控制和監測反應堆。遠程訪問單元還具有診斷、實時監視和數據記錄功能。此機器旨在最大程度地減少停機時間並降低成本。綜上所述，AMAT Producer GT是一種先進的等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）反應器。它具有雙區控制、多圈燃料設計、電子回旋共振（ECR）技術和先進的遠程訪問工具。該反應器旨在實現更快的沈積速率和更高的材料膜和塗層均勻性。它非常適合需要高溫和精確過程控制的材料加工應用。