二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9284083 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT是為半導體絕緣體矽（SOI）高級工藝集成而設計的先進蝕刻反應器。此版本的AMAT Producer GT采用了業界領先的功能尺寸、卓越的一致性和一流的延遲。此外,該反應堆還采用了業界首個多室配置,專門為滿足廣泛的客戶需求而設計。應用材料生產商GT反應堆裝有先進的PECVD氣體輸送系統，能夠以高PECVD速率輸送氧化矽、氮化矽等介電材料。反應堆還具有等離子體增強層沈積（PELD）能力，可創建薄的平面化介電層，並具有執行化學-機械拋光（CMP）工藝的能力。CMP工藝提供了一個平面非揮發性電介質層，具有良好的設備性能。生產GT反應器還具有高通量閥系統，能夠在腔室狀態之間快速切換，減少過程時間。另外，反應堆均勻性的均勻性允許不同工藝模塊的整合。反應堆還提供遠距離均勻性控制，在整個大過程區域提供精確的過程控制。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT還提供了廣泛的過程控制功能,包括自動過程調整、自學能力和「鎖定」模式。利用這項技術,過程控制可以縮小到更精細的水平,從而在不犧牲產量和周期時間的情況下實現更高的生產率和產品質量。總體而言，AMAT Producer GT是一個創新的反應堆，結合了高性能和可靠性以及靈活和經濟高效的平臺。它提供卓越的過程控制,能夠在高級過程集成中實現領先的設備性能。