二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9293604 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS PRODUCER GT是一種水平反應器，用於為微電子工業沈積光致抗蝕劑和其他敏感層。該反應堆設計用於高通量處理，采用高溫管狀加熱區，提供低熱質量和快速回收。AMAT Producer GT還具有一個集成的感受器,可在較寬的區域內進行真正的垂直沈積,用於均勻的薄膜。集成晶圓分銷商和反應室確保整個設備的顆粒平衡一致。APPLIED MATERIALS Producer GT有兩個完全可編程的過程室，分別有加載和處理區域，以提高吞吐量和靈活性。它還提供了一系列工藝氣體控制系統，以精確地維持整個腔室所需的氣體平衡。反應堆的懸臂式設計為用戶提供了對工藝氣體的高度控制，從而實現了工藝優化。此外,根據工藝要求,主腔室溫度可設置為300°C-960°C。在安全性方面,Producer GT具有許多安全聯鎖,需要在系統、站點和腔室級別成功進行認證。它還有一個帶有集成溫度傳感器的冗余熱安全單元。最後,AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT集成了支持射頻的數據記錄和采集能力,從而實現了廣泛的過程監控。最後,AMAT Producer GT是微電子工業的先進機器.它具有多種特性，使其能夠精確沈積光刻膠和其他敏感材料，並提高了通量和均勻性。它還有幾項安全措施，以確保流程安全和數據記錄能力，以便進行高效的流程監測和控制。