二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9294490 待售
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ID: 9294490
CVD System, 12"
With (2) twin chambers
Wafer shape: SNNF
Local Center Finder (LCF)
Transfer robot type: GT
Load lock chamber pump type: EPX TWIN 180L
Hard Disk Drive (HDD)
(2) Heaters of FCVD chamber missing
EFEM Chamber with FZ
MKS Astron ex BPSG Chamber
FCVD Chamber
Transfer chamber: 30 mm
Ozone rack
AC Distribution box
(4) Chillers:
THERMO FISHER SCIENTIFIC MX 500W D3
(2) SMC INR–498–012D–X007
SMC INR–496–002D–X007
System rack
(9) Boxes
Frame
PC
Monitor
SMIF/FI:
Type: 5.4
AMHS: OHT
Pre-alignment
Pass through and storage: 8-Slots wafer pass through
(2) Load ports (1 and 4 positions)
FI Controller type:
FE, FI and RT Computer type: IBM 306M
Sub components:
O3 Generator type: MKS ASTEX
Ozone cabinet: INUSA
Heat exchanger type: SMC H2000
Heat exchanger type for O3: MX500
(2) Chambers:
Chamber A:
Type: FCVD Twin
Process: F-Oxide
Heater lift driver: 0190-13840
Isolation (Gate) valve: Nor Cal 041010-1
Throttle valve: MKS T3Bi
RPS Type: MKS Astron e/ex
Manometer: 5 Torr / 100 Torr
Chamber B:
Type: SACVD Twin
Process: HARP USG
Heater lift driver: 1080-00126
Isolation (Gate) valve: Nor Cal 021010-1
Throttle valve: MKS 683
RPS Type: MKS Astron EX
Manometer: 20 Torr / 1000 Torr
Process chamber:
Gas box
Face plate
Blocker plate
Input manifold
Output manifold
Teflon manifold
Ceramic isolator
Heater
RF Filter
Pin lift driver
AC Box
Gas delivery:
Gas pallet type
Regulator
Transducer
Gas pallet configuration:
Chamber A:
Stick position / Gas type / Volume
1 / N2 Purge / -
2 / NF3 / 10 SLM
3 / AR / 10 SLM
4 / N2 / 200 SCCM
5 / O2 / 2.5 SLM
6 / N2 Purge / -
7 / Si3H9N / 1 L
9 / HE / 5 SLM
10 / N2 Purge / -
11 / NH3 / 700 SCCM
12 / NH3 / 1 SLM
14 / H2O / 1g/min
15 / AR / 5 SLM
21 / HE / 5 SLM
22 / N2 Purge / -
Chamber B:
Stick position / Gas type / Volume
1 / N2 Purge / -
2 / NF3 / 7 SLM
3 / AR / 15 SLM
4 / N2 / 5 SLM
5 / N2 / 10 SLM
6 / O3 Out / -
7 / O3 In / -
8 / O2 / 30 SLM
9 / N2 / 30 SLM
10 / H2O In / 10g/min
11 / H2O Out / -
14 / TEOS / 7g/min
15 / N2 / 50 SLM
21 / HE / 3 SLM
22 / N2 Purge / -
Power supply:
Remote AC line: 208 V, 50/60 Hz
Remote UPS
2009 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT是一種將材料或材料組合的薄膜沈積到基板上的工具。設備由三室反應堆、一系列泵和控制器以及先進的熱管理系統組成。這個完整的單元被設計為允許材料的精確沈積到基板上。反應堆的主腔室容納底物，而其他兩個較小的腔室容納待沈積的材料。機器使用多種技術將材料沈積到基板上，如化學氣相沈積（CVD）、物理氣相沈積（PVD）和濺射。強大的熱管理工具允許每種沈積技術對材料進行適當的加熱和冷卻。底物與要沈積的材料一起裝入反應堆的主沈積室。材料加熱到適當的溫度，然後通過較小的腔室送入腔室。材料分解產生的氣體和蒸氣通過排氣線被抽走。當蒸氣和氣體移開時，基板會慢慢覆蓋在所需的材料組合薄膜中。資產是高度可定制的，允許用戶調整溫度、壓力和氣體流量等參數，以微調其沈積材料。AMAT Producer GT的可自定義性使用戶能夠在一系列基板上實現材料的精確沈積，從而能夠制造復雜的電子設備。應用材料生產商GT是一種設計用於使材料薄膜沈積簡單精確的多功能工具。生產GT具有可靠的熱管理模型、可定制的參數和廣泛的沈積技術，是現代電子制造的可靠有效工具。
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