二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9296911 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT reactor是AMAT開發的一種先進的加工設備，在半導體制造過程中提供更高的生產產量。該反應堆結合了氣體輸送、熱管理和應用等離子體技術，為控制基於Si的蝕刻工藝創建了一個集成的解決方案。AMAT Producer GT反應堆的核心是其多氣體輸送。該反應堆能夠提供多達八種不同的氣體，使其能夠用於涉及順序或同時輸送含氟、稀有物質、摻雜物質和其他反應性物質的多步驟蝕刻過程。利用Advanced Mass Flow Controllers （AMFCs）,可以在整個基板上實現卓越的均勻性和可重復性。此外，APPLIED MATERIALS Producer GT反應堆的先進軟件架構允許對等離子功率、工藝配方等參數進行精確控制。生產GT反應堆還具有集成的熱管理功能，不僅可以改進過程控制，還可以提高能源效率。其先進的定位系統具有主動的光學對準和擴展的基板支撐，使其適合大小和配置各異的基板。它的液體和快速循環溫度控制系統旨在為整個基板和整個反應堆室提供卓越的溫度均勻性，防止刻面問題，並允許以更高的工藝速度進行更長的運行。在其應用等離子體技術方面，AMAT/APPLICED MATERIALS Producer GT反應堆是建立在該公司經驗證的電子回旋共振（ECR）源之上。這使得反應堆可以達到更高的功率密度水平，從而提高蝕刻速率和更好的薄膜均勻性。此外，ECR源還提高了稀有氣體效率，改進了加工，同時減少了晶圓級缺陷。AMAT Producer GT反應堆是一種高度先進、用途廣泛的蝕刻裝置，非常適合半導體研究和生產。憑借先進的硬件和軟件能力，反應堆不僅能夠實現更高的生產產量，還能提高工藝的可重復性和統一性。機器的集成熱管理能力也確保了能源效率的提高，從而減少了碳排放。