二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9296916 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT是一種用於半導體制造的反應器。它是一種化學氣相沈積（CVD）工具，設計用來將介電材料的超低溫層沈積在基板上。該反應器采用專有的感應加熱平臺和低壓工藝室，以確保安全、可重復的膜沈積，具有優異的熱性能。此外,該工具還具有易用性和卓越的吞吐量。AMAT Producer GT配備了大功率電子發電機、感應線圈和受控真空環境。在反應堆室內部，使用通氣室來分配過程氣體。在實踐中，沈積發生在底物定位在與感應線圈的最佳距離處，並保持在反應堆腔內。感應線圈激活後，將過程氣體引入腔室，形成低壓環境。然後，在基板和感應線圈之間生成等離子體，提供必要的熱量和能量，使薄膜沈積在基板上。應用材料生產商GT設計用於在低基質溫度下持續沈積介電薄膜。通過在感應線圈中添加射頻偏置來提高薄膜沈積速率，這有助於穩定基板表面的電子發射。制片人還保持低至40°C的溫度，允許良好的薄膜刻面和優異的致密保形沈積。此外,該工具還能夠進行過程縮放,在各種腔室尺寸上提供可重復的過程性能。這使得工具可以用於生產任何小型或大型基板。作為一個額外的獎勵，生產商提供了一個令人印象深刻的能力，在一個處理周期內沈積多層薄膜，提高生產力和降低成本。簡而言之,Producer GT是一種堅固可靠的CVD工具,專為優異的散熱性能、易用性和卓越的吞吐量而設計。