二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9351133 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT是一種先進的等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）反應器，用於電介質、聚合物和金屬的沈積。它旨在提高生產能力和可靠性,提高產品質量,降低運營成本。AMAT Producer GT反應堆設備結合了源室、沈積室和全自動工藝室控制器、氣管櫃、加熱區控件、中央真空系統和原位端點測量（IEM）單元作為完整解決方案。該反應堆非常靈活，可用於處理從大面積基板到微米大小特征的各種材料。APPLICED MATERIALS Producer GT的源室配備了幾個集成的大功率射頻源，以給出較高的沈積速率。氣體噴射機設計用於提供精確的燃料混合比，以控制沈積速率和界面極限控制。多個氣體管線和數字質量流量控制器允許復雜的過程，如同時運行反應性和惰性氣體化學。反應器室的設計目的是為沈積過程提供均勻性和可重復性，並具有非常小的源底距離，以實現良好的工藝控制。線性磁場電磁線圈在大面積上提供高均勻性。它也有一個令人印象深刻的溫度控制機制集成，提供高溫均勻性與單獨的加熱區和直接的溫度反饋。IEM工具是底物沈積、監測原位過程端點和提供實時反饋的終極控制。這種監測資產能夠在很大的溫度範圍內檢測任何具有高靈敏度的沈積速率變化。IEM模型還為每個允許的工藝室配備了集成的沈積工藝室大氣監測設備。總體而言,生產者GT是一個可靠的自動化PECVD系統,能夠在廣闊的區域提供精確的過程控制和沈積均勻性,而且沈積速度非常快。對於任何需要高性能和高精度沈積工藝的科學家或工程師來說，這種反應堆裝置是一個有吸引力的選擇。