二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9351429 待售
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AMAT(APPLIED MATERIALS)AMAT/APPLIED MATERIALS PRODUCER GT reterport是一種最先進的、大批量的生產設備,設計用於100 nm以下的多晶矽生產。該反應堆的設計目的是為高質量的薄膜提供高水平的可重復性和均勻性。該反應堆的設計與現有的單室和多室系統以及各種輔助設備兼容。AMAT Producer GT反應堆在其加工區集成了六個高扭矩氣體噴射器,用於將氣體和沈積前體輸送到工藝室內。噴射器能夠將惰性氣體與活性物質混合,使反應物控制和多晶矽薄膜的生產具有較高的精度和稠度。此外,反應堆設有一個單獨控制的溫度區,為沈積源提供均勻加熱,並允許薄膜均勻沈積。沈澱源控制器設計為能夠操作多種來源和化學組合,從而為高質量薄膜的生產提供了一個通用的解決方案。反應堆配備了包括可調節快門、自動化、雙軸載荷鎖、載荷鎖安全系統和智能螺旋控制器在內的多個先進、機動化部件。這些組件提供精確的控制和準確性,以確保薄膜的均勻沈積。此外,設備還配備了電源故障切換百葉窗,能夠在多個工藝氣瓶之間快速移動,從而確保生產不中斷。APPLIED MATERIALS Producer GT能夠快速進行模具加工,從而在最短的停機時間內實現快速生產。最先進的機器具有直觀的用戶界面和強大的處理器,為用戶提供了一套全面的工具控件。用戶界面設計為高度可定制,可提供一系列用於流程監控和維護的操作。Producer GT采用模塊化設計,是制造100納米以下多晶矽薄膜的通用生產工具。該反應堆適合於低批量生產,為用戶提供精確、可重復的效果和優越的薄膜一致性。它具有易於使用和維護的用戶友好功能,其創新的設計使其成為一個高度可靠的處理設備。
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