二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9352398 待售
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AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT是一種強健、高通量的等離子體蝕刻反應器,設計用於半導體加工應用。該設備采用了先進的源代碼技術(AST)工藝模塊,允許對不同的蝕刻工藝進行快速轉換和集成。對等離子體腔室進行了優化,使其在各種晶圓尺寸上具有較高的蝕刻速率和均勻性。該系統由快速渦輪等離子體(TP)發電機提供動力,在整個碗中提供均勻性。AMAT Producer GT配備了最先進的運動控制和自動化過程監控,提供了高度準確、可重復的過程結果。單元特性包括高精度、雙向運動控制和晶圓處理,以實現高保真和嚴格控制的等離子體工藝步驟。此外,APPLIED MATERIALS Producer GT還配備了先進的現場端點能力,為關鍵過程步驟提供預測性過程控制。生產商GT有一個Penta-tube Viewport,通過消除耗時的晶片裝卸,大大減少了觀察晶片加工所需的時間。Penta-viewPort提供了一個較大的查看區域,從一定角度觀察晶圓操作。晶片沿角色外軸定位,以確保良好的視角。AMAT/APPLICED MATERIALS Producer GT專為工業級生產而設計,具有完全由專利基板屏蔽技術密封的刀具結構。這一特征有效地將內部等離子體環境與任何潛在的汙染或減少隔離開來。該機還配備了先進的遠程維護工具,允許遠程診斷和高效維修。AMAT Producer GT配備集成CDA資產,提供先進的過程控制能力。此外,APPLIED MATERIALS Producer GT還采用了APPLIED Materials高速內部氣體絕緣(HSIGI)技術,提供可靠且可重復的結果。這樣就可以統一和更好地控制過程結果。該模型還具有多點溫度控制和監控功能,以確保整個配置的溫度精確一致。生產GT是一種強大、可靠、高效的蝕刻反應器,旨在為半導體器件制造提供最佳工藝效果。它是生產規模擴大和過程轉移的理想選擇,可顯著節省時間和改進過程。該設備提供了極其可重復的結果,而先進的過程模塊、運動控制和端點功能的結合使得結果能夠得到高度精確。
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