二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9383833 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT是一種先進的高性能氣體反應器,用於沈積含矽薄膜。利用微波技術直接在晶圓級創建蒸氣反應區(VRZ),提供改進的晶體管性能和較低的運行成本。該系統由三個主要組成部分組成:一個腔室、一個氣體輸送系統和一個電源。該室是AMAT Producer GT的心臟。它由兩個隔間組成。反應室的上部裝有一個冷卻的感光器,晶圓放在該感光器上。下部,泵房,裝有機械部件,這是反應堆安全運行所必需的。內部反應堆殼體由石英(Si-O2)材料制成,是室內等離子體環境的理想選擇。氣體輸送系統將氣體輸送到室內。它由供氣和排氣兩條氣線組成。供應線由一個質量流量控制器、一個隔離閥和一個導管組成,可以快速準確地控制氣流。排氣管線抽出副產品,維持反應區。APPLIED MATERIALS Producer GT的電源是高功率、高頻微波發電機。發電機有效激發等離子體,提高了沈積均勻性,降低了摻雜劑的可變性.生產商GT反應器提供了非常快速和高效的晶片處理,以及提高晶體管性能。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT憑借其最先進的技術和組件,是晶圓制造的理想選擇。
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