二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9394898 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT
ID: 9394898
Systems Process: Frontier etcher.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT(Generation Two)設備是一種分子束外延(MBE)反應器,主要用於沈積多種成分變化為多種基材尺寸的精密薄膜層。該系統依靠熱、電子束、化學束和離子束輔助沈積(IBAD),使其成為生產高性能薄膜的強大工具。該裝置的不銹鋼真空室設計用於容納直徑不超過8英寸的基板和長度不超過10英寸的基板。其泵送速度高達1x103 mbar。具有鈦升華作用的標準四英寸圓頂淋浴頭源提供原子氣相沈積,用於材料表征。AMAT Producer GT有四個熱液池、三個Mo/Be源和兩個電子束蒸發器,為各種沈積技術提供了靈活性。一個電池由卡口加熱器支撐,允許溫度設置為1000 °C。這個模型還包括一個超高真空(UHV)Cyrogenic Insulation選項,這有助於延長源壽命。該反應器還設有一個束混合器,允許用戶在引入真空室前混合金屬催化劑或摻雜劑的蒸氣。通過將材料註入機器的光束混合路徑,用戶可以操縱材料的反應性,以選擇性地沈積所需的薄膜。這一特性使得該工具更加通用,能夠產生廣泛的復雜化合物。該資產還帶有一個單獨的鎖載室,設計用於基板的快速轉移。4英寸和8英寸晶片範圍內的標準基材尺寸可以快速、方便地處理。另外還有樣品持有者。最後,該模型還包括49點腔內樣品旋轉和氣體進氣能力,使APPLIED MATERIALS Producer GT成為一個多功能的MBE設備。生產商GT是一種高性能的分子束外延系統,旨在方便將精確的薄膜沈積到廣泛的底物上。該裝置采用多種沈積技術和一種用於處理反應性的束混合器,為復雜化合物的生產提供了極大的靈活性。AMAT/APPLICED MATERIALS Producer GT是客戶希望快速輕松地生產高品質薄膜的理想機器。
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