二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9394900 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT是一種高真空沈積設備，用於在多種基板上沈積薄膜。該系統可用於沈積多種金屬、聚合物和電介質。該單元由真空室、源材料、基板處理機和過程控制工具組成。真空室是發生薄膜沈積的地方，通常由不銹鋼構成。它配備了基板、快門陣列、氣體分配資產、源供應、真空模型等各種組件。源材料存放在源電源內部，並通過快門陣列輸送到基板。基板搬運設備用於將基板從一個腔室轉移到另一個腔室，能夠同時處理平板基板和晶片。基板通常被放置在一個抗氧化基板上，該基板為發生沈積提供了一個受控的環境。此外，基板處理系統還配備了對準裝置，以確保晶圓相對於快門陣列精確放置，從而實現批量生產。過程控制機用於控制沈積過程，並監控在腔內發生的過程。該工具采用自動控制資產設計，可連續監測真空室內的條件，如溫度和壓力，以及材料流量。通過監測過程，模型可以對沈積過程進行精確調整，從而產生所需的薄膜。該設備還配備了手動調整的控制板。AMAT Producer GT是用於生產各種薄膜的可靠而堅固的系統。這種多功能單元可與多種材料配合使用，將薄膜沈積在多種基板上。過程控制機允許對沈積過程進行精確的調整，從而產生極為均勻和可重復的薄膜。此外，基板處理工具可以精確對準晶片和基板，進行大量沈積運行，使其成為生產薄膜的理想資產。